半導(dǎo)體制造過程中溫度循環(huán)控制機
378半導(dǎo)體制造過程中的溫度循環(huán)控制機,是實現(xiàn)對半導(dǎo)體制造過程中所需溫度環(huán)境的準(zhǔn)確控制。 一、溫度循環(huán)控制機功能特點 溫度循環(huán)控制機采用動態(tài)的控制算法和傳感器技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對溫度的準(zhǔn)確控制,滿足半導(dǎo)體制造...
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