深冷機(jī)Chiller在半導(dǎo)體制造工藝中的應(yīng)用
677在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,準(zhǔn)確的溫度控制是確保產(chǎn)品質(zhì)量與性能的要素之一。從晶圓制造過程中的氧化、擴(kuò)散、光刻、蝕刻,到芯片封裝階段的固化、退火等工序,半導(dǎo)體行業(yè)用深冷機(jī)Chiller實(shí)現(xiàn)制冷制熱的切換與準(zhǔn)確控溫,滿...
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